煙氣濕度在線測量主要有干濕氧法和阻容法。干濕氧法通過氧化鋯檢測器測定煙道的濕氧含量和在煙氣分析儀中內置的氧傳感器測定的經脫水后的干氧含量，根據標準換算方法可得到煙氣濕度,具有操作簡便、無需溫度穩定的優勢。但值得注意的是，現場無法提供同一測點的標準干氧，測量準確性存在一定偏差。同時依據氧化鋯的物理特性，如遇到工藝樣氣溫度猝然變冷，或含有大量水蒸氣時鋯管容易炸裂，且不宜測量含有還原性氣體的高溫煙氣，大大限制其在現場應用。

　　基于阻容法開發的煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測量中應該為廣泛、成熟的技術，其測量原理是依據煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數關系，直接測量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測量靈敏，方法簡單，對其他氣體無交叉干擾的優點。阻容法測量煙氣濕度具有廣闊的發展前景。但其在高溫、強腐蝕性煙氣測量中需要注重對測量探頭的保護。此外，煙氣濕度隨煙氣溫度變化而發生變化，采用溫度補償還可減少水分測量的誤差，進一步測量的精度。