微量氧分析儀主要用于工業在線、實驗室以及瓶裝高純N2、Ar、He、Ne和混合氣體中的微量氧、痕量氧的快速檢測，尤其適用于空分裝置和各氣體分裝廠高純氣體中微量、痕量氧的檢測;同時也適用于石油化工、冶金等行業的高純工藝性氣體、保護性氣體中微量氧的快速檢測。特別是對于含氧量<1PPMv的鋼瓶氣樣，檢測準確、快速、簡便，具有zui大優勢。

　　微量氧分析儀的誤差范圍是指在規定的工作條件下，微量氧分析儀具有的大誤差，它可以用誤差或引用誤差的形式來表達。

　　一塊生產單位出廠的微量氧分析儀或檢定合格的微量氧分析儀，其基本誤差不允許超過微量氧分析儀的允許誤差，但在實際使用中，往往由于環境溫度的變化、電源電壓波動，外部干擾等超過規定的正常工作條件而造成附加誤差，因此，要提高測量的準確性，還應注意微量氧分析儀的正確安裝和使用，以及不間斷地定期校驗、調整。

　　1、瓶裝標準氣校準：分別采用零點氣和量程氣校準儀器的零點和量程，零點氣多采用高純氮，其氧含量小0.5PPM，(測量偏差也就有這么大，或者超過，不建議采用)。微量氧的量程氣不能用鋼瓶盛裝，因為容易發生吸附效應或氧化反應，從而使氧含量發生變化，采用內涂層處理的鋁合金氣瓶盛裝，現用現配較好，有效期一年為限也可以，不宜長久存放。我們在現場，多采用單點量程校驗，其效果往往比帶零點校驗的校驗結果更好，這是因為所用零點氣不能有效保證造成的，并不是方法不好。現場在零位不能確切保證的情況下，建議放棄零點校驗。

　　2、電解配氧法校準：電解配氧法是配制氧量標準氣的一種簡易和常用的方法，有些分析儀有些配件裝置，可方便地對分析儀進行校準，這種方法簡單、可靠并具有較高的準確度。