煙氣濕度儀是利用水蒸發要吸熱降溫，而蒸發的快慢(即降溫的多少)是和當時空氣的相對濕度有關這一原理制成的。其構造是用兩支溫度計，其一在球部用白紗布包好，將紗布另一端浸在水槽里，即由毛細作用使紗布經常保持潮濕，此即濕球。另一未用紗布包而露置于空氣中的溫度計，謂之干球(干球即表示氣溫的溫度)。

　　如果空氣中水蒸汽量沒飽和，濕球的表面便不斷地蒸發水汽，并吸取汽化熱，因此濕球所表示的溫度都比干球所示要低。空氣越干燥(即濕度越低)，蒸發越快，不斷地吸取汽化熱，使濕球所示的溫度降低，而與干球間的差增大。相反，當空氣中的水蒸汽量呈飽和狀態時，水便不再蒸發，也不吸取汽化熱，濕球和干球所示的溫度，即會相等。

　　基于阻容法開發的煙氣濕度儀是目前CEMS濕度測量中應該為廣泛、成熟的技術，其測量原理是依據煙氣排氣中含濕量變化與阻容法的電阻和電容值的變化間的函數關系，直接測量煙氣排氣中含有的水分量。該方法具有測量靈敏，方法簡單，對其他氣體無交叉干擾的優點。阻容法測量煙氣濕度具有廣闊的發展前景。但其在高溫、強腐蝕性煙氣測量中需要注重對測量探頭的保護。此外，煙氣濕度隨煙氣溫度變化而發生變化，采用溫度補償還可減少水分測量的誤差，進一步測量的精度。