微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發生氧化/還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。

　　微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因導致的測量結果不準確。

　　分析儀取樣管路的密閉性：

　　在實際測量中，樣氣壓力一般都為正壓，但樣氣中的氧是微量級的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，環境空氣中氧含量約21%，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。

　　微量氧分析儀檢測的就是ppm級別的氧含量，因此配套管線必須嚴格密封，非常微小的管線泄漏（管線連接點、接頭等）都會導致環境空氣中的氧擴散進來，造成實際測量數值偏高。

　　其次，盡量減少管線長度和管線接頭數量，且同時保證接頭及閥門氣密性良好，管線連接完畢后，應做氣密性檢查。氣密性檢查的要求：0.25MPAm測試壓力下，30分鐘，壓降不大于0.01MPA。

　　最后就是使用前執行檢漏，初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數據結果。